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激光干涉儀是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行測量的儀器。激光干涉儀是20世紀(jì)60年代末期問世的一種新型的測量設(shè)備，其主要在：線形、角度、垂直度、直線度、平面度等方面上應(yīng)用。隨著激光干涉儀測量技術(shù)的不斷提高，測量軟件的不斷開發(fā)其測量范圍越來越廣泛，特別是在測量數(shù)控機(jī)床位置精度方面用途廣泛。

國產(chǎn)高性能激光干涉儀（SJ6000）采用進(jìn)口高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)多種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(約8分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光輸出，采用不同的光學(xué)鏡組可以測量出線性長度、角度、直線度、平行度、平面度以及垂直度等幾何量，并且可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)測量分析。

國產(chǎn)高性能激光干涉儀（SJ6000）性能特點(diǎn)：
精度高
      以激光干涉技術(shù)為核心，分辨力可達(dá)納米級；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。
功能廣
      具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度和垂直度；并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。
      可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。
      具有動(dòng)態(tài)測量(位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線) 及測量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行振動(dòng)分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
      支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
標(biāo)準(zhǔn)多
      內(nèi)置國內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)，含國標(biāo)(GB) 、ISO(國際) 、BS(英制) 、美標(biāo)、DIN(德標(biāo)) 、JIS(日標(biāo))共13份。可依據(jù)各種不同的測量標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。
便攜性
      使用方便：準(zhǔn)直激光后，輕易實(shí)現(xiàn)設(shè)備線性定位、重復(fù)定位精度、反向間隙、角度、直線度的測量。
      攜帶方便：基本重量為18kg，簡單便攜。
記錄管理方便，可定制
      測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理測量記錄�？啥ㄖ茖�屬企業(yè)模板，增加企業(yè)商標(biāo)。
      激光干涉儀測量分析軟件支持以下檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)：內(nèi)置國內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)，含國標(biāo)(GB) 、ISO(國際) 、BS(英制) 、美標(biāo)、DIN(德標(biāo)) 、JIS(日標(biāo))共13份。可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。
 
國產(chǎn)高性能激光干涉儀（SJ6000）數(shù)據(jù)庫內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)：

序號	標(biāo)準(zhǔn)號	標(biāo)準(zhǔn)名稱
1	GB 17421-2000	中國國家標(biāo)準(zhǔn)
2	GB 10931-89	中國國家標(biāo)準(zhǔn)
3	ISO230-1997	1997版國際標(biāo)準(zhǔn)
4	ISO230-2006	2006版國際標(biāo)準(zhǔn)
5	ISO230-2014	2014版國際標(biāo)準(zhǔn)
6	ANSI B5.54	美國國家標(biāo)準(zhǔn)
7	ASME B89.1.12M	美國機(jī)械工程師協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)
8	NMTBA	美國機(jī)床協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)
9	BS 3800	英國機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)
10	BS 4656	英國三測機(jī)標(biāo)準(zhǔn)
11	JIS B6330	日本國家標(biāo)準(zhǔn)
12	VDI 3441	德國機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)
13	JJG 117-2005	平板檢定規(guī)程

 
高性能激光干涉儀（SJ6000）技術(shù)指標(biāo)：
系統(tǒng)性能
測量方式：單頻
穩(wěn)頻精度：±0.05ppm
動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
預(yù)熱時(shí)間：約8分鐘
工作溫度范圍：(0～40)℃
存儲(chǔ)溫度范圍：(-20～70)℃
環(huán)境濕度：(0～95)%RH
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
空氣溫度傳感器：±0.1℃(0～40)℃，分辨力0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃(0～55)℃，分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器：±5%RH  (0～95) %RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa  (65～115)kPa
線性測量
測量距離：(0～80)m
測量精度：±0.5ppm (0～40)℃
測量分辨力：1nm
測量*大速度：4m/s
角度測量
軸向量程：(0～15)m
測量范圍：±10°
測量精度：±(0.02%R+0.1+0.25M) ″(R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)
測量分辨力：0.1″
平面度測量
軸向量程：(0～15)m
測量范圍：±1.5 mm
測量精度：±(0.2%R+0.02M²) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)
基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)
測量分辨力：0.1μm
直線度測量

	軸向量程	測量范圍	測量精度	分辨力
短距離	(0.1～4.0)m	±3mm	±(0.5+0.1%R+0.1M2) μm	0.01μm
長距離	(1.0～30.0)m	±3mm	±(5.0+2.0%R+0.05M2) μm	0.1μm
注：R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m

垂直度測量

	軸向量程	測量范圍	測量精度	分辨力
短距離	(0.1～3.0)m	±3mm	±(0.5+0.1%R+0.2M)″	0.01μm
長距離	(1.0～20.0)m	±3mm	±(0.5+0.5%R+0.04M)″	0.1μm
注：R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m

精密轉(zhuǎn)臺(tái)
型號：WR50
角度測量范圍：(0～360)°
測量精度：±1″
分辨力：0.1″
*高轉(zhuǎn)速：10rpm
重量：2.1kg
供電：鋰電池
通信：藍(lán)牙傳輸
觸發(fā)盒
型號：CT70
供電：DC 12V
信號輸入：差分TTL（RS422）正交編碼信號、10uApp微電流信號
輸出形式：10us脈沖
觸發(fā)延時(shí)：0.1us
尺寸重量與供電
便攜箱尺寸：外尺寸：613mm×460mm×230mm
線性配置重量：18Kg
供電電源：(100～240)VAC